無(wú)塵車(chē)間潔凈室污染源有哪些

各個(gè)不同無(wú)塵車(chē)間潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境，其污染來(lái)源的構成及所占份額可能不盡相同，但主要的為以下方面：

1.人員

盡管已有許多生產(chǎn)工藝日益提高機械化、自動(dòng)化程度，盡量減少人員直接進(jìn)入生產(chǎn)區，以降低由于人員參與帶入的污染。但截至目前，列為多數無(wú)塵車(chē)間潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的主要污染來(lái)源仍然是人。雖然為防止進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間潔凈室人員散發(fā)過(guò)量的污染物，以致不利于生產(chǎn)環(huán)境而采取了許多措施，如進(jìn)入前穿著(zhù)適用于不同級別無(wú)塵車(chē)間潔凈室的成套潔凈服、戴口罩、操作手套、指套等；人員進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間潔凈室前，一般要經(jīng)過(guò)空氣吹淋；此外進(jìn)入人員還有其他的規章制度，例如個(gè)人衛生、化妝品的使用限制，在無(wú)塵車(chē)間潔凈室內的行走速度等。但即便如此，仍然存在人體表面及內衣上的污染物穿透潔凈服，以及人員呼吸所產(chǎn)生的污染物，擴散到無(wú)塵車(chē)間潔凈室空氣中污染環(huán)境、影響產(chǎn)品質(zhì)量的問(wèn)題。

曾經(jīng)有人為無(wú)塵車(chē)間潔凈室設計過(guò)類(lèi)似于宇航服裝的潔凈工作服，人員的呼吸經(jīng)封閉頭盔和軟管接到尾氣過(guò)濾裝置來(lái)完成。雖然這種服裝幾乎杜絕了人員向外散發(fā)污染粒子，但是既不實(shí)用，造價(jià)也昂貴，同時(shí)嚴重制約了人員的行動(dòng)，妨礙正常操作和工作效率而難以普遍推廣。

2.毗鄰無(wú)塵車(chē)間潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的污染區域

與無(wú)塵車(chē)間潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境周邊毗鄰或相通的較低潔凈度的區域或是非潔凈區，由于人員、物料的進(jìn)出攜帶入的污染空氣，或沉降在人員、物料上的污染物被帶入，是影響室內潔凈度的另一個(gè)重要污染來(lái)源。

合理的正壓差是減少通過(guò)圍護結構的縫隙和傳遞窗、門(mén)、傳送帶開(kāi)口等孔洞侵入污染空氣的重要措施。設在門(mén)口的氣閘室、緩沖室以及空氣吹淋室，也都有一定作用。但完全避免周邊區域對無(wú)塵車(chē)間潔凈室環(huán)境的干擾與影響也是困難的，特別是在無(wú)塵車(chē)間潔凈室外門(mén)的附近區域，因此工藝關(guān)鍵區域宜于遠離外門(mén)。

3.未經(jīng)過(guò)濾的送風(fēng)泄漏

在正常情況下，新建、改建無(wú)塵車(chē)間潔凈室或是末級過(guò)濾器更換后，按規范進(jìn)行了嚴格的驗收檢測，那么高效過(guò)濾器本身、高效過(guò)濾器與支撐框架的接觸面如有泄漏，都應被查出并予以處理。此時(shí)，送風(fēng)系統就應不存在未經(jīng)過(guò)濾而進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間潔凈室的空氣。值得防范和注意的是，在生產(chǎn)過(guò)程中未按操作規章不慎觸及脆弱的高效過(guò)濾器紙芯，或是高效空氣過(guò)濾器支撐框架因振動(dòng)或是密封膠墊老化、變質(zhì)致使高效過(guò)濾器與框架接觸面的密封墊或膠條出現裂隙，而泄漏未經(jīng)過(guò)濾的空氣污染無(wú)塵車(chē)間潔凈室，這也是日常監測工作關(guān)注的重點(diǎn)。中凈環(huán)球凈化可提供無(wú)塵室、潔凈室的咨詢(xún)、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

4.圍護結構及其他表面

多年來(lái)隨著(zhù)建筑裝飾材料的技術(shù)進(jìn)步，無(wú)塵車(chē)間潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的墻面、地面、頂棚的產(chǎn)塵量日益降低；其表面平整光滑，并防靜電，因此吸附、聚積塵粒的幾率也在下降。無(wú)塵車(chē)間潔凈室所使用設備、家具等的表面也都具有同樣的性能，正常條件下不應產(chǎn)塵、積塵。但無(wú)塵車(chē)間潔凈室各種表面依然存在由于人員的觸摸被污染，或因生產(chǎn)過(guò)程中被污染空氣所攜帶塵粒的沉降、附著(zhù)作用，而被污染。特別是在非工作班未設凈化通風(fēng)系統值班工況時(shí)，因潔凈空調系統停止運行而對周?chē)h(huán)境無(wú)正壓功能，由于大氣擴散效應侵入室內空氣中的污染粒子將沉降、附著(zhù)到各個(gè)表面上。如果在無(wú)塵車(chē)間潔凈室重新正常運行與工作時(shí)，未清潔這些表面，那么它們將成為無(wú)塵車(chē)間潔凈室的又一個(gè)污染源。

5.處于工作狀態(tài)的機器設備

多年來(lái)，出于減少無(wú)塵車(chē)間潔凈室人員產(chǎn)生的污染以及提高工作效率和精度的雙重考慮，某些無(wú)塵車(chē)間潔凈室采用了更多的機器設備、機械手及其他自動(dòng)化裝置。實(shí)踐過(guò)程中發(fā)現，固然是減少了人員的污染因素，一定程度上改善了無(wú)塵車(chē)間潔凈室的狀況。但運轉中的機器設備由于潤滑劑、機械磨損以及電器自控裝置運行中產(chǎn)生的塵粒污染，又成為了被關(guān)注的問(wèn)題。

某些工藝過(guò)程往往也散發(fā)粉塵，如電子行業(yè)的硅片切制、打磨等，對于這類(lèi)工藝通常宜采用屏蔽措施，使其與無(wú)塵車(chē)間潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境相隔離；同時(shí)采用局部排風(fēng)措施，使其相對于周邊為負壓，以盡量減少污染物外溢。

6.原材料、容器、包裝等

對進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間潔凈室的設備、材料以及容器、包裝等的預清潔、拆包地點(diǎn)和方法，以及進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間潔凈室的程序等，在無(wú)塵車(chē)間潔凈室運行管理的相關(guān)規范中都有明確說(shuō)明。但仍難完全杜絕粘附在原材料、容器、包裝，特別是一些難于徹底清潔的產(chǎn)品的細小組件等上的污染物被帶入無(wú)塵車(chē)間潔凈室。它們構成了生產(chǎn)過(guò)程中的又一個(gè)重要污染源，這一點(diǎn)上往往容易被忽略，通常出現問(wèn)題時(shí)，常把注意力放在尋找空調凈化系統的缺陷上。在承擔過(guò)的多項無(wú)塵車(chē)間潔凈室現狀調查與測試中，發(fā)現不少無(wú)塵車(chē)間潔凈室產(chǎn)品部件帶入的微粒是出現問(wèn)題的重要原因。

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